Suku Cadang Mesin CNC Semikonduktor
Kami memproduksi sesuai pesananbagian mesin CNC semikonduktordari gambar pelanggan dan file CAD, termasukkomponen ruang vakum, pelat dan perlengkapan distribusi gas, bagian penanganan dan penjepit wafer, komponen pompa dan katup, suku cadang RF, pelat pendingin, unit pendingin dan komponen kit proses. Kemampuan pembubutan, penggilingan, pemesinan 5-sumbu, CNC Swiss, dan kemampuan-penggilingan balik kami mendukung komponen dengan toleransi ketat untuk peralatan etsa, deposisi, litografi, implantasi ion, CMP, dan metrologi.
Suku cadang peralatan semikonduktor hidup di dunia yang berbeda dari suku cadang industri biasa: suku cadang tersebut harus bertahan hidupvakum, gas proses korosif, plasma, siklus suhu, dan persyaratan-kontrol partikel. Oleh karena itu, pemilihan material merupakan keputusan pertama dalam setiap proyek pemesinan semikonduktor. Kami mengerjakan nilai yang tepat -316L VIM-VAR dan baja tahan karat 316L, aluminium 6061-T6 dan 7075-T6, titanium kelas 5, molibdenum TZM, tembaga OFHC C10100, paduan nikel, dan plastik rekayasa PEEK/PTFE- dan terapkan penyelesaian akhir yang kompatibel dengan cleanroom-jika aplikasi memerlukannya. Suku cadang diproduksi sesuai dengan dimensi, toleransi, bahan, dan persyaratan penyelesaian yang ditentukan, dengan sertifikat bahan tersedia berdasarkan permintaan.
Dari prototipe tunggal untuk pengembangan alat baru hingga proses produksi berulang untuk kit proses cadangan, kami mengerjakan komponen semikonduktor hingga gambar - berapa pun jumlahnya.
Suku Cadang Mesin CNC untuk Aplikasi Semikonduktor
Peralatan Etch & Deposisi
Badan ruang · pelapis ruang · pelat distribusi gas · rakitan elektroda · cincin fokus · cincin penjepit · bagian pemasangan pancuran
Bahan:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Titanium kelas 5
Sistem Vakum & Pengiriman Gas
Flensa vakum (CF/KF/ISO) · komponen katup gerbang · perlengkapan saluran gas · segel permukaan jenis VCR-· blok manifold · bagian pemasangan pompa
Bahan:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Penanganan & Transportasi Wafer
Lengan robot · efektor akhir · klem wafer · pegangan tepi · komponen kaset · bagian elevator dan garpu · dudukan kinematik
Bahan:6061-T6 · 7075-T6 · · Tembaga berilium C17200 · Titanium kelas 5
Implantasi Ion & Bagian Beamline
Komponen beamline · elektroda · lubang · bagian penekan dan ekstraksi · pelindung suhu tinggi-
Bahan:TZM molibdenum · Tungsten W · Tantalum Ta-2.5W
Komponen Daya RF & Plasma
Konektor RF · rumah feedthrough · pemegang elektroda · bagian pelindung · pegas kontak
Bahan:Tembaga OFHC C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Manajemen Termal & CMP
Pelat pendingin · komponen pendingin · unit pendingin · bagian kepala CMP · cincin penahan · komponen pelat
Bahan:Tembaga C10100 OFHC · 6061-T6 · 316L
Peralatan Metrologi & Inspeksi
Pemasangan optik · komponen panggung · pelat dasar · perlengkapan penyelarasan · bagian pemasangan kinematik
Bahan:6061-T6 · 7075-T6 · Titanium kelas 5
Peralatan Pemrosesan & Pembersihan Basah
Komponen tangki dan bak mandi · lengan penyemprot · penahan nosel · bagian roller dan sikat · perlengkapan-tahan bahan kimia
Bahan:316L · Hastelloy C-276 · Titanium kelas 2
Suku Cadang Mesin CNC Semikonduktor Yang Kami Produksi
Komponen Ruang Vakum
Badan ruang, tutup, pelapis, dan cincin pemasangan dengan kerataan terkontrol, permukaan penyegelan, dan persyaratan pembuangan gas yang rendah.
Bahan:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Flensa & Perlengkapan Vakum
CF (ConFlat), flensa KF dan ISO, nipel, adaptor, dan perlengkapan saluran gas untuk layanan UHV.
Bahan:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Pelat & Nozel Distribusi Gas
Pelat distribusi-yang dibor secara presisi, nozel injektor, dan perangkat keras pemasangan pancuran.
Bahan:6061-T6 · Titanium kelas 5 · 316L
Klem, Cincin & Pegangan Wafer
Cincin fokus, cincin penjepit, pegangan tepi, dan pemandu wafer dengan kerataan yang ketat dan kontrol dimensi.
Bahan:6061-T6 · C17200 · Titanium kelas 5
Lengan Robot & Efektor Akhir
Lengan transfer wafer, garpu, dan efektor ujung dengan bobot, kekakuan, dan kontrol partikel yang seimbang.
Bahan: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Komponen Pompa & Katup
Rumah, rotor, baling-baling, poppet, dudukan dan bagian batang untuk pompa kering, katup gerbang, dan-perangkat keras kontrol aliran massal.
Bahan:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Kit Proses & Suku Cadang Habis Pakai
Suku cadang kit yang dapat diganti dirancang untuk pemesanan berulang dengan toleransi dan kebersihan yang konsisten.
Bahan:6061-T6 · Titanium kelas 5 · 316L VIM-VAR
Pelat Pendingin & Pendingin
Pelat-pendingin air, unit pendingin, dan bagian pendingin dengan permukaan kritis-kerataan.
Bahan:Tembaga C10100 OFHC · 6061-T6 · 316L
RF & Komponen Kontak
Rumah RF, bagian konektor, pegas kontak, dan komponen pelindung EMI.
Bahan: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Punya Bagian Semikonduktor Khusus? Kirim File CAD Anda
Proses Pemesinan CNC untuk Suku Cadang Semikonduktor
Pembubutan CNC
Terbaik untuk:Kelengkapan · puting susu · batang katup · rotor pompa · nozel
Ideal untuk komponen silinder dengan konsentrisitas yang ketat.
Penggilingan CNC
Terbaik untuk:Badan ruang · pelat dasar · manifold · braket
Cocok untuk komponen datar, prismatik, dan-multifitur.
Pemesinan CNC 5 Sumbu
Terbaik untuk:Efektor akhir · rumah kompleks · Komponen RF
Mengerjakan geometri kompleks dan sudut majemuk dalam satu pengaturan.
Putaran CNC-Penggilingan
Terbaik untuk:Perlengkapan saluran gas · bagian kopling dengan fitur yang digiling
Menggabungkan pembubutan dan penggilingan untuk bagian rotasi yang kompleks.
Mesin CNC Swiss
Terbaik untuk:Perlengkapan kecil · komponen sensor · pin presisi
Dirancang untuk komponen yang kecil, ramping, dan-berpresisi volume tinggi.
Penggilingan & Pengasahan CNC
Terbaik untuk:Permukaan penyegelan · bantalan kursi · lubang presisi
Digunakan untuk diameter kritis, kesesuaian, dan penyelesaian cermin (Ra 0,1–0,4 μm dapat dicapai).
Bahan Mesin CNC Semikonduktor
Untuk komponen semikonduktor, pemilihan material bergantung padakompatibilitas vakum, proses kimia, ketahanan plasma, suhu, magnet, pembentukan partikel, dan manajemen termal. Kami mengerjakan berbagai bahan logam dan plastik rekayasa untuk ruangan, sistem gas, penanganan wafer, RF, dan komponen termal.
| Bahan | Nilai Umum | Aplikasi Semikonduktor Khas | Keuntungan Utama |
|---|---|---|---|
| Aluminium | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Badan ruang, pelat dasar, lengan robot, unit pendingin, braket | Ringan, dapat dianodisasi, konduktivitas termal yang baik; 6061-T6 adalah pekerja keras untuk perangkat keras ruangan |
| Baja Tahan Karat | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Flensa vakum, alat kelengkapan gas, bagian katup,-perangkat keras berkekuatan tinggi | Ketahanan terhadap korosi dan suhu; 316L VIM-VAR adalah standar untuk layanan pelepasan gas rendah-UHV |
| titanium | Kelas 2 (CP) · Kelas 5 (Ti-6Al-4V) | Suku cadang distribusi gas, kit proses, perangkat keras pemrosesan basah | Ketahanan terhadap plasma dan bahan kimia, kekuatan tinggi-terhadap-berat, non-magnetik |
| Tembaga | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 tembaga berilium | Suku cadang RF, pelat pendingin, pegas kontak, perangkat keras listrik | Konduktivitas listrik dan termal yang sangat baik; OFHC ideal untuk RF dan manajemen panas |
| Paduan Nikel | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Perlengkapan-tahan bahan kimia,-suku cadang bersuhu tinggi, struktur metrologi | Ketahanan kimia dan suhu; Invar 36 menawarkan-ekspansi termal mendekati nol |
Mengapa 316L VIM-VAR?Untuk komponen vakum ultra-tinggi-(UHV), kami mengerjakannya316L VIM-VAR- ganda-tahan karat leleh dengan kandungan dan inklusi gas yang sangat rendah. Gas yang dikeluarkan lebih sedikit, pengelasan lebih mudah diprediksi, dan tetap bersih dalam layanan vakum. Jika gambar Anda mencantumkan VIM-VAR atau 316L yang dipoles secara elektro, kami dapat menyediakan materi dengan sertifikasi penuh.
Pemilihan Material untuk Lingkungan Vakum & Ruang Bersih
Kompatibilitas Vakum & Pelepasan Gas
Bahan di dalam ruangan tidak boleh mengeluarkan gas atau menjebak partikel. 316L VIM-VAR, 6061-T6 adalah pilihan yang umum; porositas dan permukaan akhir dikontrol untuk menjaga pelepasan gas tetap rendah.
Ketahanan Kimia & Plasma
Gas proses halogen dan terfluorinasi menyerang banyak logam. TZM molibdenum, Ta-2.5W, Hastelloy C-276, titanium kelas 5 dipilih karena kimia korosif dan paparan plasma.
Pengendalian Partikel & Kontaminasi
Keausan, tepian, dan serpihan yang terperangkap menghasilkan partikel yang mematikan hasil panen. Kami menghaluskan setiap tepian, mengontrol kekasaran permukaan, dan membersihkan komponen sesuai standar ruang bersih sebelum dikemas.
Manajemen Termal
Panas mempengaruhi keseragaman proses. Tembaga C10100 OFHC dan 6061-T6 digunakan untuk pelat pendingin dan unit pendingin; TZM dan tungsten menangani beamline suhu tinggi dan bagian ruang.
Sifat Magnetik & Listrik
Beberapa proses memerlukan bahan non-magnetik seperti 316L, titanium Kelas 5; Perangkat keras RF dan grounding menggunakan tembaga OFHC C10100 dan tembaga berilium C17200.
Presisi & Stabilitas
Bagian metrologi dan litografi memerlukan stabilitas dimensi: aluminium 6061-T6 dan 7075-T6, titanium kelas 5 menahan geometri melalui perubahan suhu.
Toleransi & Spesifikasi Pemesinan CNC Semikonduktor
Komponen semikonduktor sering kali memerlukan akurasi-tingkat mikron pada permukaan penyegelan, datum pemasangan, permukaan kontak-wafer, dan lubang presisi, sehingga alat dapat dirakit dengan benar dan proses tetap dapat diulang.
| Spesifikasi | Kemampuan Khas | Aplikasi Semikonduktor Khas |
|---|---|---|
| Dimensi Linier | ±0,01 mm (presisi hingga ±0,005 mm) | Bagian ruang, pelat dasar, manifold |
| Diameter Lubang & Poros | ±0,005–0,01mm | Rotor pompa, batang katup, fitting presisi |
| Kebosanan | Turun hingga 0,01 mm/100 mm | Permukaan penyegel, pelat pendingin, dudukan kinematik |
| Konsentrisitas / Kehabisan | Turun hingga 0,01 mm | Bagian pompa berputar, kopling |
| Posisi Sebenarnya | ±0,01mm | Pola-lubang baut, lubang distribusi gas |
| Kekasaran Permukaan | Standar Ra 0,2–0,8 μm; Ra 0,1–0,4 μm berdasarkan permintaan | Permukaan penyegel,-permukaan kontak wafer, interior ruang |
| Penghalusan Tepi | Dikontrol per gambar (-deburr mikro tersedia) | Semua partikel-bagian penting |
| Toleransi Benang | Sesuai dengan persyaratan ISO/ASME | Perlengkapan, flensa, perangkat keras pemasangan |
Fitur Penting yang Kami Kontrol
Penyegelan & Alur Cincin O-- kedalaman, lebar, dan penyelesaian permukaan yang dikontrol untuk segel vakum dan cairan.
Wafer-Permukaan Kontak- kontrol kerataan dan kekasaran untuk menghindari kerusakan wafer dan pembentukan partikel.
Lubang & Kesesuaian yang Presisi- lubang yang akurat untuk bantalan, poros, dan komponen-pas tekan.
Lubang Distribusi Gas- ukuran lubang, posisi, dan deburring yang tepat untuk aliran gas yang seragam.
Fitur Data & Pemasangan- data yang konsisten untuk perakitan dan penyelarasan berulang.
Penyelesaian Permukaan untuk Bagian CNC Semikonduktor
Penyelesaian permukaan adalah bagian dari strategi kontaminasi dan korosi pada peralatan semikonduktor. Hasil akhir yang tepat mengontrol partikel, pelepasan gas, ketahanan kimia, dan perilaku listrik.
| Permukaan Selesai | Bahan yang Berlaku | Bagian Semikonduktor Khas | Manfaat Utama |
|---|---|---|---|
| Pemolesan listrik | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Flensa vakum, saluran gas, pelapis ruang | Menghilangkan material permukaan dan inklusi; mengurangi pelepasan gas dan perangkap partikel |
| Pasifasi | 316L · 304L · 17-4 PH | Perlengkapan, pengencang, bagian katup | Menghilangkan besi bebas, meningkatkan ketahanan terhadap korosi |
| Anodisasi Tipe II | 6061-T6 · 6063-T5 | Badan ruang, pelat dasar, braket | Lapisan isolasi,-tahan korosi; pilihan warna |
| Anodisasi Keras (Tipe III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Kenakan permukaan, pemandu, bagian robot | Lapisan pelindung yang keras dan tahan aus |
| Pelapisan Nikel Tanpa Listrik | 6061-T6 · 7075-T6 · Baja | Perangkat keras ruang, bagian kit proses | Keausan seragam dan perlindungan korosi |
| Pelapisan Emas | C10100 · C11000 · 6061-T6 | Kontak RF, bagian konektor | Resistensi kontak rendah, perlindungan korosi |
| Pelapisan Timah | C10100 · C11000 | Konduktor listrik, bar bus | Kemampuan solder dan perlindungan korosi |
| Peledakan Manik | 6061-T6 · 316L · Baja | Rumah, penutup,-permukaan tidak kritis | Hasil akhir matte seragam (dikontrol untuk pelepasan partikel) |
| Pembersihan Kamar Bersih | Semua bahan | Semua bagian sebelum dikemas | Pembersihan ultrasonik multi-tahap, tanpa minyak, tanpa residu, partikel-terkontrol |
Kontrol Kualitas Mesin CNC Semikonduktor
Kami memeriksa persyaratan dimensi penting, kesesuaian, kerataan, runout, dan permukaan selama produksi untuk memastikan komponen semikonduktor mesin CNC memenuhi gambar. Untuk proyek yang memerlukan kualitas terdokumentasi, kami dapat menyediakan sertifikat material, laporan dimensi, dan dokumentasi kebersihan untuk mendukung inspeksi masuk Anda.
Verifikasi Materi
Verifikasi Materi
Inspeksi Dimensi
Inspeksi GD&T
Inspeksi Benang
Inspeksi Permukaan Akhir
Inspeksi Akhir
Inspeksi Pengemasan
| Barang Inspeksi | Peralatan / Metode | Bagian Semikonduktor Khas |
|---|---|---|
| Inspeksi Dimensi | CMM · Kaliper · Mikrometer | Dimensi bagian keseluruhan |
| Diameter Lubang & Poros | Pengukur Lubang · Pengukur Pin · CMM | Rotor pompa, batang katup, fitting |
| Kerataan & Paralelisme | Pelat Permukaan · CMM | Menyegel permukaan, pelat pendingin |
| Posisi Sebenarnya | CMM | Pola lubang, pelat distribusi gas |
| Kekasaran Permukaan | Penguji Kekasaran | Menyegel permukaan,-permukaan kontak wafer |
| Inspeksi Benang | Boleh/Tidak-Boleh Pengukur Thread | Perlengkapan dan pengencang |
| Verifikasi Materi | Spektrometer + Sertifikat Bahan | Bahan mentah masuk (EN 10204 3.1 tersedia; VIM-sertifikasi VAR berdasarkan permintaan) |
| Pemeriksaan Kebersihan | Pemeriksaan Visual + Partikel berdasarkan Permintaan | Cleanroom-mengirimkan suku cadang |
| Inspeksi Akhir | CMM + Laporan Inspeksi | Penerimaan dimensi akhir |
Butuh kendali mutu yang terdokumentasi?Kirimkan gambar dan persyaratan inspeksi Anda kepada kami.
Prototipe & Pemesinan CNC-Volume Rendah untuk Semikonduktor
Proyek semikonduktor sering kali dimulai dengan prototipe - desain alat baru, pengembangan kit proses, peningkatan suku cadang, atau komponen pengganti yang harus divalidasi sebelum produksi. Kami mendukungprototipe dan pemesinan CNC{0}}volume rendahdari sampel awal hingga mengulangi-pesanan dalam jumlah kecil.
Pemesinan Prototipe
Untuk pengembangan alat baru, validasi proses, dan perubahan desain.
Kuantitas Khas:1–10 buah
Produksi-Volume Rendah
Untuk sistem percontohan, peningkatan alat, dan pengoperasian produksi awal.
Kuantitas Khas:10–1,000+ buah
Ulangi Produksi
Untuk kit proses cadangan dan pesanan berulang dengan desain yang sudah mapan.
Kuantitas Khas:Berdasarkan kebutuhan proyek
Cocok untuk
Ruang vakum dan perangkat keras pengiriman gas
Penanganan wafer dan komponen penjepit
Bagian etsa, deposisi dan implantasi ion
RF, bagian manajemen listrik dan termal
Perlengkapan metrologi dan inspeksi
Suku cadang dan kit proses untuk alat yang ada
Pengemasan & Waktu Timbal untuk Suku Cadang CNC Semikonduktor
Kemasan
Perlindungan Individu:Kantong PE, busa, atau film pelindung untuk permukaan mesin
Kemasan Ruang Bersih:Komponen yang sudah dibersihkan dikantongi ganda-di dalam kantong bersih (tersedia opsi pembersihan nitrogen)
Bagian Kecil:Karton yang dipartisi untuk mencegah goresan-ke-kontak bagian
Bagian Presisi:Sisipan busa dan kompartemen terpisah untuk komponen penting
Kemasan Khusus:Nomor komponen, label, jumlah, dan-persyaratan pengemasan khusus pelanggan
Waktu Pimpin yang Khas
| Jenis Pesanan | Waktu Pimpin yang Khas |
|---|---|
| Prototipe | 5–10 hari kerja |
| Rendah-Pesanan Volume | 10–20 hari kerja |
| Pesanan Produksi | 15–30 hari kerja |
| Ulangi Pesanan | 10–25 hari kerja |
Pertanyaan Umum
T: Suku cadang mesin CNC semikonduktor apa yang dapat Anda produksi?
J: Kami memproduksi komponen ruang vakum khusus, flensa dan alat kelengkapan saluran gas, pelat distribusi gas, klem dan cincin wafer, suku cadang lengan robot, komponen pompa dan katup, suku cadang beamline implanter ion, komponen RF, pelat pendingin, unit pendingin, dan suku cadang kit proses untuk peralatan semikonduktor.
T: Toleransi pemesinan CNC apa yang dapat Anda capai?
J: Toleransi CNC standar kami biasanya ±0,05 mm, dengan pemesinan presisi hingga ±0,02 mm dan fitur penting tertentu hingga ±0,005–0,01 mm, bergantung pada persyaratan geometri, material, dan gambar.
T: Dapatkah Anda menyediakan 316L VIM-VAR untuk komponen vakum?
J: Ya. Untuk layanan vakum ultra-tinggi-kami dapat membuat mesin 316L VIM-VAR (pelelehan induksi vakum dan peleburan busur vakum) dengan kandungan gas rendah, yang dilengkapi dengan sertifikasi bahan. Pemolesan elektro tersedia untuk mengurangi pelepasan gas dan perangkap partikel.
T: Apakah Anda menawarkan pembersihan dan pengemasan yang kompatibel dengan ruang bersih-?
J: Ya. Suku cadang dapat dibersihkan, dikeringkan, dan-dikantongi dua kali secara ultrasonik dalam beberapa tahap (pembersihan nitrogen opsional) untuk menjaga permukaan-bebas partikel untuk pengiriman di ruang bersih.
T: Dapatkah Anda memberikan sertifikat material dan laporan inspeksi?
J: Ya. Bergantung pada persyaratan proyek, kami dapat menyediakan sertifikat material (EN 10204 3.1, termasuk sertifikasi VIM-VAR), laporan inspeksi dimensi, laporan CMM, dan catatan penyelesaian permukaan.
T: Bisakah Anda mengerjakan komponen non-magnetik?
J: Ya. Kami mengerjakan mesin dengan kualitas non-magnetik termasuk baja tahan karat 316L, titanium kelas 5, aluminium 6061-T6, dan PEEK untuk aplikasi di mana sifat magnet harus dihindari.
T: Lapisan permukaan apa yang Anda terapkan pada bagian semikonduktor?
J: Tergantung pada bahan dan aplikasinya, kami menawarkan pemolesan listrik, pasivasi, anodisasi keras Tipe II dan Tipe III, pelapisan nikel tanpa listrik, pelapisan emas dan timah, peledakan manik, dan pembersihan ruang bersih.
T: Apakah Anda menerima gambar 2D dan file CAD?
J: Kami dapat bekerja dari file gambar STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF, dan 2D yang umum.
T: Apakah Anda mendukung prototipe dan-produksi bervolume rendah?
J: Ya. Kami mendukung jumlah prototipe mulai dari 1–10 buah,-produksi volume rendah dari 10–1,000+ buah, serta pesanan produksi berulang untuk kit proses dan suku cadang.
T: Berapa waktu tunggu tipikal untuk suku cadang CNC semikonduktor?
J: Waktu tunggu umumnya adalah 5–10 hari kerja untuk prototipe, 10–20 hari kerja untuk pesanan-volume rendah, dan 15–30 hari kerja untuk pesanan produksi, bergantung pada kompleksitas komponen, kuantitas, material, dan penyelesaian akhir.
Tag populer: suku cadang mesin cnc semikonduktor, produsen suku cadang mesin semikonduktor cnc Cina, pemasok, pabrik, titanium
Sepasang
TidakBerikutnya
Suku Cadang Mesin CNC KelautanAnda Mungkin Juga Menyukai
Kirim permintaan